HMDS烘箱预处理系统操作流程
1、首先确定烘箱工作温度；
2、预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分;
3、再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应;
4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。
北京中科博达仪器科技有限公司
北京中科博达仪器科技有限公司 版权所有 企业邮箱 ICP备案号:京ICP备15032943号-1
管理登陆 总流量：439607 网站地图 技术支持：中国化工仪器网
